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单位简介
本所成立于1964年,是国内唯一一所从事半导体微细加工设备研发的专业研究所,主要产品有离子注入机,扩散/氧化系统,CVD,LPCVD,PECVD,离子束镀膜机,离子刻蚀机,隧道式工业窑炉等.... 更多介绍>>
- 所在地区:湖南省长沙市
- 行业分类:专用设备制造业
- 企业类型:
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- 员工人数:
服务项目
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